Accéléromètre piézorésistif

Le cœur d’un accéléromètre piézorésistif est l’effet piézorésistif. Il utilise une poutre en porte-à-faux micro-usinée ou une masse d'épreuve constituée de matériaux semi-conducteurs tels que le silicium. Lorsque l'accéléromètre subit une accélération, la force d'inertie provoque la déformation de la masse étalon. Cette déformation étire ou comprime le matériau piézorésistif fixé à la poutre, entraînant une modification de sa résistance électrique. En mesurant ce changement de résistance (généralement à l'aide d'un circuit en pont de Wheatstone), l'ampleur de l'accélération peut être calculée avec précision.

En raison de leur principe de fonctionnement unique, les accéléromètres piézorésistifs offrent une sensibilité élevée, une large plage de mesure, une structure robuste et une réponse en fréquence élevée-. Cependant, ils consomment généralement plus d’énergie et sont sensibles à la température (nécessitant une compensation de température).

Sur la base de ces caractéristiques, leurs applications se concentrent principalement sur les domaines qui nécessitent la mesure d'événements dynamiques à haute-fréquence et à fort-impact (haut-g).